Istnieje wiele metod przygotowania cienkiej warstwy krzemu amorficznego panele słoneczne . Obejmują one rozpylanie reaktywne, PECVD, LPCVD itp. Gazem reakcyjnym jest siH4 rozcieńczony H2. Podłoża to głównie arkusze szkła i stali nierdzewnej, a wykonane z nich niegatunkowe folie silikonowe można wykorzystać do uzyskania ogniw słonecznych z pojedynczym złączem i tandemowych ogniw słonecznych w różnych procesach ogniw.

Amorficzne krzemowe ogniwa słoneczne mają ogromny potencjał ze względu na wysoką wydajność konwersji, niski koszt i lekkość. Ale jednocześnie, ze względu na małą stabilność, bezpośrednio wpływa na jego praktyczne zastosowanie. Jeśli może dodatkowo rozwiązać problem stabilności i poprawić współczynnik konwersji. Zatem amorficzne krzemowe ogniwa słoneczne są niewątpliwie jednym z głównych produktów rozwojowych ogniw słonecznych.

Wieloskładnikowe cienkowarstwowe ogniwa słoneczne Aby znaleźć substytut dla monokrystalicznych ogniw krzemowych, ludzie opracowali ogniwa słoneczne wykonane z innych materiałów oprócz krzemu polikrystalicznego i cienkowarstwowych ogniw słonecznych z amorficznego krzemu. Należą do nich głównie związki arsenku galu z grupy III-V, siarczek kadmu, tellurek kadmu i baterie cienkowarstwowe z selenkiem miedziowo-indowym. Wśród wyżej wymienionych akumulatorów, chociaż wydajność cienkowarstwowych akumulatorów cienkowarstwowych z tellurku kadmu i siarczku kadmu jest wyższa niż cienkowarstwowych ogniw słonecznych z amorficznego krzemu, koszt jest niższy niż w przypadku pojedynczych akumulatorów krzemowych i łatwo jest produkowane masowo, ale ponieważ kadm jest wysoce toksyczny, spowoduje poważne zanieczyszczenie środowiska, dlatego nie jest idealnym zamiennikiem ogniw słonecznych z krzemu krystalicznego. Związki arsenku galu III-V i baterie cienkowarstwowe z selenkiem miedzi i indu zyskały szerokie zainteresowanie ze względu na ich wysoką wydajność konwersji.